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更新时间:2026-09-17
点击次数: 在新能源、半导体、真空设备、特种管路等行业,密封性能直接决定产品可靠性,氦质谱检漏作为高精度泄漏检测手段,已经成为质量管控的关键环节,而 GB/T 36176‑2018《真空技术 氦质谱真空检漏方法》,就是国内氦质谱真空检漏的重要执行依据。
该标准 2018 年 5 月发布,同年 12 月正式实施,规范了氦质谱真空检漏的通用条件、三类主流检测方法、操作流程以及检测文件管理,适用于部件、组件、分系统及系统级产品的真空氦检漏工作,为各行业检漏作业提供统一技术准则。
标准首先明确人员、设备、氦气、环境四大基础要求。检测人员需要经过专业培训考核,特殊行业需要满足无损检测人员资质;检漏系统整体检漏灵敏度,必须优于工件允许漏率的十分之一,校准漏孔要在计量有效期内;氦气需达到纯氦级别;作业环境温度控制在 16‑30℃,湿度不大于 80%,远离强磁场与振动干扰,从源头降低检测误差。
标准规定了喷吹法、氦罩法、压力‑真空检漏法三种主流检测方式。喷吹法可完成漏点定位与漏率定量;氦罩法多用于整体总漏率定量检测,分为全罩和局部罩;压力‑真空检漏法仅可测总漏率,无法定位漏点,需要定位时需搭配吸枪法使用。标准对喷枪扫描速度、喷吹距离、测试时长、反应时间、清除时间等实操参数均给出明确约束,同时规定完整的漏率计算方式,保障检测结果可复现。
除此之外,标准对检漏记录和正式报告作出硬性规范。原始记录需要留存温湿度、仪器编号、灵敏度、测试数据、操作人员信息;正式报告要写明产品信息、检测依据、环境条件、检测结果与结论,完整的文档也是产品验收、体系审核的重要凭证。很多企业只关注检漏仪本身参数,却忽略整套系统的实际灵敏度、环境干扰、报告合规性,很容易出现检测结果失真,无法满足验收要求。
江苏科海检验有限公司具备 CMA 检验检测资质,严格遵循 GB/T 36176‑2018 等国家标准开展氦质谱检漏服务,拥有专业检测团队与精密检漏设备,可面向半导体、新能源、特气管道、真空设备等行业提供上门及实验室氦检漏检测,出具具备法律效力的 CMA 检测报告,助力企业把控产品密封质量,满足产品出厂、项目验收、体系审核的合规需求。