高纯氮中水分含量的露点法测定技术要点

水分是影响高纯氮（N₂ ≥ 99.999%）应用性能的关键杂质之一。在精密电子封装、激光器填充或金属热处理过程中，即使数 ppm 级的水汽也可能导致氧化、腐蚀或工艺失效。

GB/T 8979—2008 规定高纯氮中水含量 ≤ 3 × 10⁻⁶（体积分数），并明确推荐采用露点法（GB/T 5832.2）作为仲裁检测方法。

露点法通过冷却镜面直至气体中水蒸气开始凝结，此时镜面温度即为露点温度，再根据气体压力换算为水含量。该方法直接、物理意义明确，且不受其他气体组分干扰，特别适用于高纯惰性气体中微量水分的测定。

现代冷镜式露点仪可实现自动控温、图像识别凝露点，测量精度可达 ±0.1℃ 露点，对应水含量误差小于 ±0.2 × 10⁻⁶。

检测时需注意：样品气流速应稳定（通常100–300 mL/min），避免湍流影响镜面热平衡；管路必须彻底干燥，建议使用电抛光不锈钢或钝化铜管；对于液氮汽化样品，需确保完全气化并恒温后再进入仪器，防止液滴冲击镜面。

值得注意的是，电解法（GB/T 5832.1）虽可用于日常监控，但易受气体中其他可电解物质干扰，故标准规定当结果存在争议时，以露点法为准。这一规定凸显了露点法在高纯气体水分检测中的权威地位。