纯氦气的纯度检测通常指的是确定氦气中是否含有其他气体杂质，以及这些杂质的具体含量。对于高纯度氦气（如99.999%或更高），需要使用非常敏感且精确的方法来进行分析。

以下是一些用于检测高纯度氦气纯度的技术：

1. 气相色谱法（GC）：这是最常用的分析方法之一，能够有效分离和定量混合物中的各种组分。通过选择合适的柱子类型、检测器及操作条件，可以达到极高的灵敏度来测定微量杂质。

2. 质谱法（MS）：特别是与气相色谱联用（GCMS），这种方法提供了更高的分辨率和更宽广的动态范围，非常适合于痕量污染物的鉴定和量化。

3. 光谱技术：

    原子吸收光谱(AAS)：适合于检测某些特定金属元素。

    电感耦合等离子体质谱(ICPMS)：能够同时检测多种元素，并具有极低的检出限。

    紫外可见光谱(UVVis)：可用于检测某些化学物质的存在。

4. 热导率检测：基于不同气体间热导系数差异进行测量的一种方法。虽然精度不如上述几种技术高，但对于快速筛查还是有一定帮助的。

5. 露点仪：专门用来测定水分含量。在高纯氦气的应用场景下，即使是极其微量的水蒸气也可能成为问题。

6. 化学发光法：例如氧氮化物分析仪(ONH)，这类设备常被用来检测氧气和其他相关化合物的浓度。

7. 激光拉曼散射光谱：这是一种非接触式的无损检测技术，适用于在线监测，能够提供关于样品成分的信息而无需直接取样。